电子束直写系统（第二次）评标结果公示公告

【中国国际招标网】

项目名称：电子束直写系统（第二次）

招标项目编号：2947-264hs2026g03

招标范围：电子束直写系统 1套（含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）

招标机构：登录查看

招标人：登录查看

开标时间：2026-06-16 09:30

公示开始时间：2026-06-16 13:05

评标公示截止时间：2026-06-22 23:59

中标候选人名单：无中标候选人