紫外曝光系统（第二次）评标结果公示公告(1)

【中国国际招标网】

项目名称：紫外曝光系统（第二次）

招标项目编号：2947-264hs2026g04

招标范围：紫外曝光系统 1套(含原厂光强计，光刻机专用吸片真空泵，分区曝光测试板，压缩空气过滤器。LED 光源，波长365nm，405nm，436nm；光强计和400nm探头一套；双面对准功能；自动对准功能；顶部物镜2个5X；底部物镜2个5X；掩模板框架5吋，7吋，9吋各一套；晶圆光刻夹具2吋，4吋，6吋，8吋各一套。具体指标详见技术规格)

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开标时间：2026-07-01 09:30

公示开始时间：2026-07-07 15:40

评标公示截止时间：2026-07-10 23:59

中标候选人名单：