意向
多功能纳米显微表征系统项目采购（2026-JHQYHJ-W1003）采购意向公告
发布时间：
当前为公开预览，相关单位、金额及个人联系信息已脱敏。
为便于供应商了解采购信息，根据《物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规定，现将多功能纳米显微表征系统项目采购（2026-JHQYHJ-W1003）的采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 需求概况 | 初步技术参数 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 多功能纳米显微表征系统项目采购（2026-JHQYHJ-W1003） | 采购内容：采购多功能纳米显微表征系统 采购数量：1套 主要功能或目标：采购具备高分辨形貌观察、微区成分定量能谱分析及共聚焦拉曼光谱联用功能的多功能纳米显微表征系统。 需满足的要求：工艺监控：对光刻、深硅刻蚀、压电薄膜沉积及晶圆键合等关键工序进行跨尺度形貌检查与缺陷溯源。 材料表征：EDS用于多层异质薄膜界面元素扩散与污染分析；拉曼用于压电薄膜晶相纯度、残余应力及极化取向检测。 失效分析：对服役器件进行非破坏性检测，识别疲劳裂纹、分层、电迁移及腐蚀产物。 前沿支撑：满足超材料声学结构、纳米线压电器件及未来新型MEMS水听器敏感结构的原位联用表征需求。 本项目为交钥匙工程，投标方须配合招标方，充分沟通，完成设备运输、安装、调试、使用培训、售后服务等全部内容。 交付时间：签订合同后180天内； 交付地点：甲方指定地点。 | 主要包括场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）主机系统，并配套X射线能谱仪（EDS）与显微共聚焦拉曼光谱分析模块，形成"形貌-成分-应力"多维度联用表征能力。 电子光学 （1）场发射电子源； （2）高真空分辨率≤0.7 nm（@15 kV）； （3）加速电压0.02–30 kV； （4）束流3 pA–20 nA； （5）具备低电压无荷电成像能力。 能谱（EDS） （1）SDD有效面积≥60 mm²； （2）Mn Kα能量分辨率优于130 eV（@100 kcps）； （3）元素范围B–Cf； （4）支持实时谱图与元素面分布。 拉曼光谱 （1）覆盖紫外-可见-近红外（300–1050 nm）； （2）532 nm激光功率≥50 mW； （3）低波数检测≤100 cm⁻¹； （4）具备深制冷CCD； （5）配套高精度电动样品台（行程≥75 mm×50 mm）。 软件与联用 （1）支持大图像拼接、三维重建； （2）具备与光镜、FIB等设备的坐标关联及ROI重定位接口。 探测器 （1）镜筒内具备高分辨SE、仓室SE、多分割BSE及样品电流监测器； （2）支持多通道同步成像。 | 登录查看 | 2026年07月 | 无 |
注：1.本次意向公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；
2.供应商可以通过采购平台反馈参与意向和意见建议。
标讯信息来源于公开渠道，仅供参考，请以官方公告为准。
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