真空非晶原子团簇筛选与组装系统采购项目中标公告

名次

供应商名称

投标报价（元）

总得分

第一名

99.80

第二名

74.34

第三名

72.39

货物名称

货物品牌及型号

数量及单位

单价（元）

交货期

多元沉积系统

扩维原子；原子气源生成原子团簇、磁控溅射、三个磁控溅射直线驱动系统、一套RF 射频溅射电源300W、两套直流溅射电源500W

1套

合同签订后210个日历日内

气相凝聚系统

扩维原子；圆柱尖锥型冷凝腔体、旁抽阻断阀、公称直径DN25、控制主腔室与冷凝腔室气路通断

1套

系统维护窗口

扩维原子；Skimmer观察窗，DN150、观察视窗、液氮进出管道、脂润滑分子泵 DN200、可调喷嘴:调节范围1mm～10mm、Skimmer 组件

1套

独立观察窗

扩维原子；DN16观察视窗

1套

真空系统

扩维原子；圆柱形真空主腔体全金属密封

1套

超声膨胀束流沉积系统

扩维原子；真空主腔体 DN100、2英寸束流收集样品台、2英寸XYZ 束流沉积移动控制系统、磁悬浮分子泵、CCQ100 插板阀充气阀、可根据需求选择气体快开沉积腔观察窗

1套

加速器系统

扩维原子；离子光学透镜、圆柱形真空主腔体、脂润滑分子泵、系统维护窗口 DN150、离子光学与质量选择转换法兰

1套

离子光学束流沉积系统

扩维原子；真空主腔体 DN63、1英寸束流收集样品台、1英寸XYZ 束流沉积移动控制系统、磁悬浮分子泵、CCQ63 插板阀充气阀、可根据需求选择气体快开沉积腔观察窗

1套

分离系统

扩维原子；真空主腔体 DN300、横向TOF 分辨率=M/dM>20，选择范围=30amu-无上限、终端束流:白束束流强度>1nA;选择束流强度>60PA、脂润滑分子泵 DN150、高压脉冲电源

1套

沉积系统

扩维原子；双通道再聚焦离子光学透镜、CCQ63 插板阀2个、快开沉积腔观察窗、脂润滑分子泵 DN150、充气阀、竖直线性驱动系统、束流收集样品台

1套

电气与控制系统

扩维原子；多路高压阵列电源(16路)、真空规、复合真空规、真空电极，电极法兰、皮安表及其辅助电源、工控计算机及控制软件

1套

其他

扩维原子；循环水冷却机、气体质量流量计、干式真空泵(涡旋)、手动挡板阀、定制框架标准组装件电柜、控制柜

1套