自研原位快速表面形貌初筛单元-扫描隧道显微模块、扫描电子显微模块、智能数据共享与分析模块采购项目意向公开

采购单位:

项目名称:

自研原位快速表面形貌初筛单元-扫描隧道显微模块、扫描电子显微模块、智能数据共享与分析模块采购项目

预算金额（万元）:

采购品目:

A02100400 分析仪器

采购需求概况:

该自研原位快速表面形貌初筛单元为微结构智能化高通量外延生长配套的高端表征设备，集成扫描隧道显微、扫描电子显微及智能数据共享与分析模块，功能配置齐全、表征精度优异，可实现多维度原位快速检测与智能分析；

其中扫描隧道显微模块真空优于 2×10⁻10mbar，具备原子级空间与高能量分辨率，最低可达 0.4 K 低温测试，扫描电子显微模块拥有 0.02kV–30kV 宽加速电压与最高 200 万倍放大倍率，二次电子分辨率优异且样品台移动与倾角范围大，整体可支撑高通量样品高效初筛与数据闭环管理。

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预计采购时间:

2026年5月

备注:

无