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华南先进光电子研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器竞价公告(JJ26091814522797)
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登录查看购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器
竞价公告(JJ26091814522797)
说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
一、基本信息
| 竞价编号：JJ26091814522797 | |
| 项目名称：登录查看购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器 | |
| 项目预算(元)：登录查看 | 登录查看 |
| 采购单位：登录查看 | 登录查看 |
| 最少有效报价家数：3 | 登录查看 |
| 联系手机：****** | 登录查看 |
| 异议反馈：****** | |
| 开始时间：2026-09-18 14:52:27 | 截止时间：2026-09-21 14:52:27 |
| 报价方式说明： | |
二、资格条件
| 资格条件：无 |
三、商务要求
| 付款方式：完成合同约定内容，验收通过并收到发票后15个工作日内，支付100%合同金额。 | |
| 履约保证金： 无需履约保证金 | |
| 交付时间： 合同签订后30个工作日内交付 | |
| 交付地址： 登录查看城校区理五栋526。 | |
| 质保期及售后要求：按原厂售后服务进行 | |
| 其他要求：无 |
四、技术要求
| 序号 | 标的名称 | 数量 | 计量单位 | 生产厂商/品牌 | 型号规格 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 离子束刻蚀机控制器 | 1.00 | 套 | 北京埃德万斯 | IBE-150 | 否 | 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配OES终点检测控制信号接入。 |
| 2 | 水冷刻蚀样品台 | 1.00 | 套 | 北京埃德万斯 | p150mm | 否 | 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±90°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ100mm（4英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜100℃） |
五、附件
| 序号 | 附件名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
|---|
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