甲酸活化清洗设备

一、基本信息

标题：甲酸活化清洗设备

寻源单位：

寻源截止时间：2026-03-01 18:00:00

采购领域：固定资产

采购品类：专用设备-航空航天工业专用设备-航天其他非标准设备

预计采购形式：非招采购

二、采购需求

主要用于晶圆表面金属焊盘活化还原、清洗工艺环节，活化清洗效果以及清洗效果直接影响金属焊盘表面的氧化层、洁净度，从而最终影响凸点制备的成品率。核心技术指标如下如下： *晶圆尺寸：8、12英寸； *具备甲酸活化功能及二流体清洗功能； *甲酸活化腔可调温度：RT~300℃； *二流体清洗可调温度：RT~60℃； *二流体清洗最大转速：≥2000rpm；

三、资格条件

1.供应商过往三年中具备同类设备业绩，提供证明材料。2.供应商应建立质量管理体系，提供体系认证证书。

四、附件

暂无文件