甩干机

一、基本信息

标题：甩干机

寻源单位：

寻源截止时间：2026-02-10 18:00:00

采购领域：固定资产

采购品类：专用设备-电工、电子专用生产设备-电子工业专用设备

预计采购形式：非招采购

二、采购需求

1、 本次采购5台甩干机，这5台甩干机包含10个甩干腔。其中1个甩干腔用于清洗5/7英寸光刻版；9个甩干腔用于清洗4/6英寸圆片； 2、 这 10个甩干腔中，其中1个甩干腔用于甩干5/7英寸光刻版，需配备5/7英寸夹具各一套（共2套）； 3、其中9个甩干腔，用于甩干4/6英寸圆片，需配备4/6英寸夹具各1套（共18套）； 4、甩干机满足甩干后的圆片每枚圆片上颗粒直径≥0.2um，且颗粒数≤25颗 （测试圆片为6英寸）； 5、甩干机中甩干腔体带温度加热系统。温度可控范围23℃~120℃，设定温度与实际测定温度精度≤±0.5℃； 6、该设备具备氮气加热功能。温度可控范围23℃~120℃，设定温度与实际测定温度精度≤±0.5℃； 7、该设备需具备除静电功能； 8、该设备软件包含氮气加热、腔体加热设置、报警功能，方便监控设备运行情况； 9、该设备带漏水报警功能； 10、该设备使用材料符合国家安全标准。

三、资格条件

具备有效的营业执照和质量管理证书以及能够满足设备指标要求的能力证明，提供具备资格的测试设备生产线的实际使用情况。

四、附件

暂无文件