超精密力控原子层抛光系统采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1 适用于玻璃、镀铝合金等材料的平面、曲面及微结构表面超精密力控抛光。
1.2 末端压力范围：0～25 N，压力连续可调。
1.3 静态压力控制精度：±0.1 N。
1.4 具备主动闭环力控制及动态重力补偿功能，重力补偿精度：±0.1 N。
1.5 压力补偿响应时间：≤20 ms。
1.6 抛光头轴向浮动行程：≥20 mm。
1.7 转速范围：-250～+250 rpm，支持正反转及连续调速。
1.8 额定输出扭矩：≥0.35 N·m。
1.9 采用闭环转速控制，保证抛光过程中转速稳定。
1.10 力传感器量程：≥±50 N，精度：≤0.05% F.S.。
1.11 力信号采样频率：≥500 Hz，采样分辨率：≥24 bit。
1.12 供电电压：24 VDC，允许电压波动范围：±10%。
1.13 通信方式：RS485通信，提供完整的通信协议及接口资料。
1.14 抛光头与抛光液接触部件采用耐腐蚀材料，具备防水、防腐蚀和防飞溅能力。
1.15 具备恒力抛光、自适应阻抗控制、前馈补偿及姿态重力补偿功能。
1.16 配套控制软件，支持压力与转速设置、运行状态显示、过程数据记录及传感器标定。
1.17 在约定工艺条件下，玻璃样品抛光后的高频表面粗糙度≤0.10 nm RMS。
1.18 在约定工艺条件下，镀镍磷铝基底样品抛光后的高频表面粗糙度≤0.15 nm RMS。
1.19 抛光后样品的中、低频表面误差应有效降低或保持稳定；对微结构及非球面样品能够实现保形抛光，不得出现明显轮廓损伤。
1.20 每套装置应包含抛光头本体、驱动控制器、传感器、安装转接件、连接线缆及控制软件，并提供安装调试、操作培训和不少于12个月的质保服务。

质保期

1.质保期：保修期为一年
2.为保证售后服务质量，设备必须提供售后服务承诺
3.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）

售后要求

24小时电话响应，48小时到达现场服务。重大问题或其他无法迅速解决的问题争取在一周内解决或提出明确解决方案。