MEMS设计工艺集成软件(清采招第20260611号)单一来源公示

登录查看 MEMS 设计工艺集成软件采购项目单一来源公示

一、 采购人：登录查看

二、 地址：北京市海淀区清华园

三、项目名称：MEMS设计工艺集成软件采购项目

项目编号：清采招第20260611号

预算：登录查看

四、采购内容：MEMS设计工艺集成软件

五、 采用单一来源采购方式原因及说明

经全面调研比对国内外主流 MEMS 设计工艺集成软件，仅有 COVENTOR 公司（Lam Research 旗下）的 Coventor 设计软件能够满足本项目全部关键技术指标要求，故采用单一来源方式进行。登录查看是 COVENTOR 中国大区独家代理商，负责其在中国的市场和技术支持业务。

六、 主要技术指标要求：

MEMS 设计工艺集成软件可实现微机电系统器件与工艺协同设计及结构、热、静电等多物理场耦合仿真，支持基于工艺版图与工艺库的三维器件建模、工艺流程参数化编辑、器件降阶模型提取，并可与 MATLAB/Simulink、Cadence Virtuoso 开展联合仿真，能够支撑复杂 MEMS 器件及微系统从工艺建模、器件性能分析到系统级协同仿真的一体化设计与验证流程；七、厂商：Coventor, Inc.

地址：Coventor, Inc. 4650 Cushing Pkwy. Fremont, CA 94538 USA

供应商：登录查看；

地址：湖北省武汉市江岸区花桥街道花桥街江大路30号17栋1-7层

八、征求意见期限从2026年11月10日至2026年11月13日止。

九、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后1个工作日内将书面意见（包括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明）反馈至登录查看（联系人：登录查看 62771946，邮箱：登录查看）。